碘化爐簡介
設備主要技術參數：
l 設備總功率 140KW;
l 沉積室溫區 Φ300mm*Η600mm；
l 沉積室加熱溫度 1600℃；
l 沉積室加熱功率 100KW；
l 反應室均溫區 Φ200mm*Η900mm；
l 反應室加熱溫度 500℃；
l 反應室加熱功率 15KW；
l 碘儲存室 Φ200mm*Η500mm；
l 碘儲存室加熱溫度 120℃；
l 碘儲存室加熱功率 5.5KW；
l 碘收集冷凝需配置獨立制冷機功率 0.75KW；
l 兩端端蓋油冷循環溫度 250 ℃；
l 爐室空爐極限真空度 0.06Pa；
