碘化爐簡介

設備主要技術參數: 

l         設備總功率                     140KW;

l         沉積室溫區                    Φ300mm*Η600mm

l         沉積室加熱溫度                 1600

l         沉積室加熱功率                 100KW

l         反應室均溫區                   Φ200mm*Η900mm

l         反應室加熱溫度                 500℃;

l         反應室加熱功率                 15KW

l         碘儲存室                       Φ200mm*Η500mm

l         碘儲存室加熱溫度                 120℃;

l         碘儲存室加熱功率                 5.5KW

l         碘收集冷凝需配置獨立制冷機功率   0.75KW

l         兩端端蓋油冷循環溫度             250 ℃;

l         爐室空爐極限真空度                0.06Pa

 

 

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遼公網安備 21078202000108號

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